2022-2028年中国光刻机市场发展趋势与投资可行性报告
报告目&= #24405;及图表目录
智研数据研究中心 = 32534;制
www.compuke.net
《2022-2028年中国光刻机市场发展趋势与投资可行性报告》信息及时,资料详= 23454;,指导性强,具有?= 20;家,独到,独特的优= 势。旨在帮助客户掌= 5569;区域经济趋势,获?= 1;优质客户信息,准确&= #12289;全面、迅速了解目= 069;行业发展动向,从而= ;提升工作效率和效果= 65292;是把握企业战略发ì= 37;定位不可或缺的重要= 决策依据。
报告详细#= 775;问地址://www.compuke.net/b/jixie/U72719AGDG.html
产品?= 5;格:印刷版:RMB 8000 电子版:RMB 8000 印刷版+电子版:RMB 8200
全国?= 9;一客服电话:400-600-8596= (免长话费)010-80993963
Email:sales@abaogao.com
联系?= 4;:刘老师谭老师陈老师
报= ;告说明、目录及图表= 30446;录详见第二部分。
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
光刻机经历了五代发展
|
||||
-
|
光源
|
波长(nm)
|
类型
|
制程(nm)
|
第一代
|
g-line
|
436
|
接触接近式
|
800-250
|
第二代
|
i-line
|
365
|
接触接近式
|
800-250
|
第三代
|
KrF
|
248
|
扫描投影式
|
180-130
|
第四代
|
ArF
|
193
|
浸没步进式
|
45-22
|
步进投影式
|
130-65
|
|||
第五代
|
EUV
|
13.5
|
极紫外式
|
7月22日
|
2018年三大光刻机巨头各类光刻机出货量情况(单位:台)
|
||||
-
|
ASML
|
NIKON
|
CANON
|
|
半导体用光刻机
|
EUV
|
18
|
0
|
114
|
ArFi
|
86
|
5
|
||
ArF
|
16
|
9
|
||
KrF
|
78
|
5
|
||
i-line
|
26
|
17
|
||
面板用光刻机
|
-
|
0
|
70
|
69
|
总计
|
-
|
224
|
106
|
183
|
报?= 8;详细访问地址://www.compuke.net/b/jixie/U72719AGDG.html