2021-2027年中国湿电子化学品市场运行动态分析及投资趋势预测报告
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湿电子化学品是集成电路、分立器件、显示面板、太阳能电池等生产湿法工艺制程关键性电子化工材料,按照组成成分和应用工艺不同可分为通用湿电子化学品(酸类、碱类、溶剂类,如硫酸、氢氟酸、双氧水、氨水、硝酸、异丙醇等)和功能性湿电子化学品(配方产品,如显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等)。
类别
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产品名称
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作用途径
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通用超净高 纯试剂 |
硫酸
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强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用最多
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双氫水
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清洗、腐蚀剂,可与浓硫酸、硝酸、氫氟酸、氢氧化铵等配制使用,在集成电路制程应用较多
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氢氟酸
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强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、过氧化氢及氢氧化铵等配制使用
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盐酸
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酸性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢配制使用,可有效降低金属杂质
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硝酸
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酸性清洗、腐蚀剂,可与冰乙酸、过氩化氢配制使用
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磷酸
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超纯磷酸为酸性腐蚀剂,主要用于超大规模集成电路工艺技术的生产
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氨水
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碱性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢、水、氢氟酸配制使用
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功能性化学 品 |
蚀刻液
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硅、金属层蚀刻
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显影液
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光刻胶曝光后显影剂
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剥离液
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用于剥离光刻胶
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